Левенгук, изобретатель первой увеличительной линзы, стал первопроходцем микрокосмоса. Правда, для рассмотрения нанообъектов, не подойдет ни один из оптических микроскопов, из-за недостаточного разрешения и увеличения. Для таких целей применяются электронные и атомно-силовые микроскопы.
Начало нанотехнологиям положил в 30-х годах прошлого века Г. А. Гамов, открывший такое явление, как туннелирование, позволявшее объяснить многие наблюдаемые экспериментально процессы. Практическое использование данного эффекта стало возможным после появления туннельных диодов, открытых японским ученым, лауреатом Нобелевской премии, Л. Есаки. Именно этот процесс и заложен в основу технологий оперирования сверхмалыми величинами.
Легендарная лекция Нобелевского лауреата Р. Фреймана стала следующим этапом нанотехнологической революции. Именно он предложил концепцию манипулирования отдельными атомами для формирования очень малых оманипулирования отделбными атомамираммах ряда европейскиз бъектов со специфическими свойствами, что и было в дальнейшем реализовано с помощью сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа.
